形式:DS-250TB
タイプ:低発ガス
特殊ろ材を開発し、フィルタからの発ガスを大幅に低減しています。
日本無機製品
低発ガスフィルタを
紹介!
粒子対策だけでは守れない工程品質を支える重要な
低発ガスフィルタとは
ろ材・接着剤・フレーム素材などからの揮発性有機化合物(VOC)放出を極力抑えたエアフィルタです。
半導体や有機EL製造など、分子レベルの汚染が製品不良を招く現場で使用されます。
素材からのアウトガスを分析し、材料選定・洗浄処理を徹底することでガス放出を低減しています。
日本無機では「低ホウ素タイプ」や「シリコーンフリー仕様」など、多様な要求に対応するラインナップを展開しています。
Point 01
半導体前工程のクリーンルーム
チップの中にある細かい線や回路は、分子レベルの汚染がパターン欠陥や電気的異常を引き起こすため、微粒子だけでなくアウトガス除去が重要です。低発ガスフィルタは、発塵と同時に発ガス量も管理できるため、歩留まりの安定化に貢献します。
Point 02
有機EL・液晶ディスプレイ
製造工程
感光性材料や有機膜は、シリコーンや可塑剤などのアウトガスに非常に敏感です。低発ガスフィルタはシリコーンフリー材料で構成されており、静電気・ガス汚染による不具合を抑制します。
Point 03
電子部品・センサ製造設備の
FFUや送風系
空気中にふくまれるわずかなガスでも、電子部品にくっついたり変質させたりして、壊れやすくなることがあります。低発ガスフィルタを使えば、装置の中の空気まできれいに保てるので、製品の安定した品質づくりに役立ちます。
一般的なフィルタと比較
素材選定と製造工程の
徹底管理
一般的なフィルタでは重視されない接着剤や封止材の微量ガス放出まで制御。日本無機では部材分析と脱ガス処理を徹底しています。
「微粒子+ガス」両対応型
粒子除去性能(HEPA/ULPA)に加え、分子状の有機ガス・酸性ガスなどの低減も追求した設計で、クリーンルームのAMC対策に効果的です。
ホウ素フリー・シリコーンフリーモデルの選択肢
製造工程に応じて、金属汚染や界面不良のリスクを避けるための素材指定モデルがあり、仕様対応の柔軟性に優れています。
低発ガスフィルタを紹介
英和商工はフィルタトップメーカー日本無機株式会社の販売代理店です。
お問い合わせ・お見積り依頼お待ちしております。
形式:DS-250TB
タイプ:低発ガス
特殊ろ材を開発し、フィルタからの発ガスを大幅に低減しています。
形式:DSR-250TB
タイプ:低発ガス
特殊ろ材を開発し、フィルタからの発ガスを大幅に低減しています。
形式:TGML
タイプ:標準形
ヌーベルフィルタは、有機物とボロンの発生を抑えた当社の低発ガスフィルタの最上級品です。(グレードのラインナップとして、超ULPA、ULPA、HEPAグレードがあります。)
Access
英和商工株式会社 大阪本社
| 住所 | 〒566-0052 |
|---|---|
| 電話番号 |
072-654-7431 |
| FAX番号 | 072-654-4622 |
| 営業時間 | 8:45~17:45 |
| 定休日 | 土,日,祝 |
| 代表者名 | 尾名 亮三 |
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| 住所 | 〒566-0052 |
|---|---|
| 電話番号 |
072-654-7431 |
| FAX番号 | 072-654-4622 |
| 営業時間 | 8:45~17:45 |
| 定休日 | 土,日,祝 |
| 代表者名 | 尾名 亮三 |
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